X射线吸收精细结构（XAFS）谱仪主要测量元素K/L吸收边及其附近的吸收率变化，广泛应用于诊断材料的局域特性，例如核心原子的价态、 配位数、位形与键长。

CT型真空紫外光谱仪，采⽤Czerny-Turner光学结构，可以在空间上将复⾊光分成⼀系列单⾊光，系统由平⾯衍射光栅、前后准直聚焦镜及CCD探测器组成。

采用Seya- Namioka光路结构，入射狭缝和CCD探测器位于罗兰圆上，可以单色模式和光谱模式切用 。

真空紫外分光光度计主要是⽤氘灯作为光源，发出的光在真空下经过收光系统聚焦到单⾊器，经单⾊器分光扫描选择出需要的单⾊光，再聚焦到样品处。系统采⽤双PMT探测器采集信号，然后通过专业分析软件对采集的光谱信...

平场光谱仪，采用全息凹球面变线距光栅进行分光，具有平场特性，便于使用面阵CCD记录光谱。光栅工作在掠入射模式下，衍射效率高，同时通过选用不同的光栅型号，可以实现波长范围0.6~200nm的全覆盖。

台式x射线吸收谱仪主要测量元素K/L吸收边及其附近的吸收率变化，广泛应用于诊断材料的局域特性，例如核心原子的价态、 配位数、位形与键长。